DLC スリックnano

スリック-nanoは、従来のDLCでは実現できなかったナノレベルの膜厚分布を可能にしたJCC独自のDLC膜です。膜厚均一性、100℃以下での低温処理可能。

高硬度や低摩擦といったこれまでのDLC特性はもちろん、メタル成分を含まず低電気抵抗特性を出せる等、お客様のニーズに合わせた幅広い膜特性に対応いたします。

また、コーティング対象基材も金属基材だけでなく、セラミックスやプラスチックスなど幅広い基材への処理が可能です。

スリック-nanoの特徴

被膜特性

色調被膜硬度摩擦係数膜厚対応サイズ
黒色1,000~3,000Hv0.10~0.2030~500nm□500×30tmm

スリック-nano3つのポイント


平面においてナノオーダーの膜厚均一性が得られる


セラミックスやゴムなど絶縁物へのコーティングが可能


プラスチックなどへのコーティングが可能

スリック-nanoの機能

スリックnanoCの表面抵抗

スリック-nanoの膜厚分布

φ300mmSiウエハでの膜厚分布

スリック-nanoHの摩擦特性