DLC スリックnano
スリック-nanoは、従来のDLCでは実現できなかったナノレベルの膜厚分布を可能にしたJCC独自のDLC膜です。膜厚均一性、100℃以下での低温処理可能。
高硬度や低摩擦といったこれまでのDLC特性はもちろん、メタル成分を含まず低電気抵抗特性を出せる等、お客様のニーズに合わせた幅広い膜特性に対応いたします。
また、コーティング対象基材も金属基材だけでなく、セラミックスやプラスチックスなど幅広い基材への処理が可能です。
スリック-nanoの特徴
被膜特性
色調 | 被膜硬度 | 摩擦係数 | 膜厚 | 対応サイズ |
黒色 | 1,000~3,000Hv | 0.10~0.20 | 30~500nm | □500×30tmm |
スリック-nano3つのポイント
平面においてナノオーダーの膜厚均一性が得られる
セラミックスやゴムなど絶縁物へのコーティングが可能
プラスチックなどへのコーティングが可能
スリック-nanoの機能
スリックnanoCの表面抵抗
スリック-nanoの膜厚分布
φ300mmSiウエハでの膜厚分布